たとえば、当社グループ製品とスマートフォンの関係

スマートフォンの液晶ディスプレー、半導体のそれぞれに、SCREENの製造装置が使われています。

半導体製造に欠かせない「洗浄」

半導体とは、電気を通す「導体」と電気を通さない「絶縁体」の両方の性格を備えた物質です。与えられた条件によって導体、絶縁体のどちらにもなるという性質から、電流の制御やエネルギーの変換などに利用されます。パソコンやスマートフォンなどのIT機器だけでなく、エアコンなどの電化製品にも使われます。

半導体チップは、シリコンウエハー（シリコンの薄い板）の表面に、洗浄・成膜・塗布・露光・現像・エッチング・不純物注入・剥離などの表面処理工程を繰り返して作ります。その中で、当社グループが主に装置を提供しているのが、「洗浄」の工程です。

ウエハーの不純物や薬品を取り除く「洗浄」は、全工程の30%近くを占めると言われている重要な工程であり、この部分の効率化は生産性向上と省資源に直結します。より少ない水で、より速く、確実に洗浄できる装置を開発したことにより、当社グループは、3種類の洗浄装置の分野で、世界トップシェアを獲得しています。

• 半導体入門

半導体製造工程とは？

大きく分類して「前工程」と「後工程」に分かれます。
「前工程」は、シリコンウエハー上に回路を形成する(ICチップを作る)工程で、一連の同じ工程を何度か繰り返します。
一方「後工程」は、「前工程」によって形成されたICチップを切り取って正常に作動するかを検査し、組み立てをします。当社グループでは、主に「前工程」における品質維持や生産性向上に大きな影響を及ぼす「洗浄」「レジスト剥離」「エッチング」「熱処理」などの装置を得意としており、特にウエハーの「洗浄」工程で確固たる地位を築いています。