特長

貼り合せ(ラミネーション)

フレキシブルデバイス表面にフィルムなどの軟質の材料を精度よく貼り合せます。
フレキシブルデバイスの表面保護に適しています。

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  • 吸着保持された保護フィルムをチルトさせてローラーで貼り合せるため、気泡混入が抑制できます。
  • 光学オートアライメントを搭載しているため、精度良く貼り合せることができます。

メカニカル剥離(デラミネーション)

フレキシブルデバイスからキャリアガラスをメカニカル剥離(デラミネーション)します。
フレキシブルデバイスのレーザーリフトオフ(LLO)後の工程に適しています。

  • 基板を水平に吸着保持させて、キャリアガラス側からメカニカル剥離します。
  • 剥離位置と速度を制御しながら剥離するため、フィルム基板のストレス(引張、曲げ、折れ)を大幅に抑制します。

ワークサイズ

G6ハーフ(925×1500)

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