自動精密露光装置 MAシリーズ

特長

  1. 様々なバリエーションの全自動プロキシミティ露光装置をラインナップ。
  2. 独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定。
  3. 独自の光学式エッジセンサにより、基板端面と非接触で高精度にアライメント。
  4. 独自の高速画像処理技術で、マスクおよびマスクと基板を高精度アライメント。
  5. 自動マスク交換可能な装置内マスクライブラリを搭載可能。
  6. LCD、LED、有機EL、カラーフィルタ(CF)、タッチセンサ、太陽電池など幅広いアプリケーションに対応します。

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