ウエット処理装置
基板を搬送しながら洗浄、現像、エッチングなどのウエットプロセスを処理する装置
- 第1～8.5世代（G1～G8.5）基板向け。
- 液処理部は、置換性能向上のため傾斜搬送方式を採用。薬液使用量も削減。
- マグネット搬送により、パーティクルの発生を抑制。
- 薬液濃度管理システム、生産ライン最適化システム「CrystalFlow」との接続が可能。
- 現像、エッチング、剥離、洗浄に対応する槽材質を採用。
- SCREENファインテックソリューションズの装置技術をベースに独自技術を展開。
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