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パターン付ウェーハ外観検査装置 ZI-3500

パターン付ウェーハ外観検査装置 ZI-3500



統合プラットフォームコンセプト


統合プラットフォームコンセプト


 ● φ100mmからφ300mmまでのウェーハサイズに対応

 ● FOUP、SMIF、オープンカセットなど多様なウェーハ搬送機構に対応

 ● パーツ共通化による安定供給と短納期に対応


<関連製品>
エリプソ式膜厚測定装置 RE-3500
光干渉式膜厚測定装置 VM-3500


特長

  1. ハイスピード検査
    独自の検査ヘッドと高速画像処理エンジン搭載により、従来比1.5倍のハイスループットを実現。ウェーハ内のチップサイズや個数に影響を受けずに、高い生産性を実現します。
  2. 高解像度対応
    1.0μmの高解像度レンズを新たに採用し、より高精度な検査に対応。さらに解像度の異なるレンズを同時に搭載でき、3段階の切替がレシピで容易に行えます。
  3. ユーザーフレンドリーな操作性
    簡単操作で短時間でのレシピ作成が可能。ウェーハサイズの切替もスイッチひとつで行えます。さらに薄ウェーハにも、装置内パーツを交換せずに容易に対応できます。

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