光干渉式膜厚測定装置 VM-3500
統合プラットフォームコンセプト
● φ100mmからφ300mmまでのウェーハサイズに対応
● FOUP、SMIF、オープンカセットなど多様なウェーハ搬送機構に対応
● パーツ共通化による安定供給と短納期に対応
＜関連製品＞
エリプソ式膜厚測定装置 RE-3500
パターン付ウェーハ外観検査装置 ZI-3500
特長
- 量産ライン向け膜厚管理に最適
膜厚管理手法で、光干渉波形からスピーディに膜厚を測定。コストパフォーマンスに優れています。また、画像認識機能（オプション）により、パターンウェーハの特定の場所での測定に も対応しています。 - 幅広い膜厚範囲に対応
光干渉波形から膜厚を計算する手法として、Fitting法とPeak&Valley法の２種を搭載し、最大4層までの積層膜や幅広い膜厚範囲に対応。ヘッドの種類により、紫外光領域から近赤外光領域まで幅広くカバーします。 - さまざまな膜種プログラム
標準25種類の膜種プログラムを搭載。また、特殊な膜種構造に関しても、当社の専門エンジニアによる膜種プログラム作成対応が可能です。
