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枚葉式洗浄装置 SU-2000

枚葉式洗浄装置 SU-2000

電子産業界のあらゆる分野で、「グリーンデバイス」と呼ばれる環境負荷の軽減に配慮した技術や製品が大きな注目を集めています。
中でも、エアコン、電車、ハイブリッド自動車、電気自動車など、電力を効率的に制御するインバータ等のパワー半導体の需要が急速に拡大しています。
また、MEMS、BSI(Back side illumination)センサなどは、スマートフォンへの搭載率が急速に向上しており、それらのデバイス製造にも注目が集まっています。
SCREENは、このような世界的市場動向とお客さまからのご要望にお応えして、2010年に環境デバイス分野向け製造装置の開発プロジェクト「FRONTIER」をスタートさせました。
今回、その第4弾として「グリーンデバイス製造」に適した枚葉洗浄装置「SU-2000」を開発しました。

特長

優れたコストパフォーマンス

  • ハイエンド装置、SU-3200の基本設計コンセプトとノウハウを継承し、高度なプロセス性能に対応。
  • 通常のSiウェーハから薄ウェーハまでフレキシブルに対応可能。

省フットプリント

  • お客さまの生産規模に応じて2チャンバ仕様、4チャンバ仕様から選択可能。
  • 当社従来装置MP-2000(2チャンバ)とSU-2000(4チャンバ仕様)のフットプリントを比較した場合、わずか14%のサイズアップとなるだけで、装置の置き換えに対応します。大幅な省スペースを実現しました。
  • 装置背面に薬液供給システムを配置(All-in Oneコンセプト)。薬液供給源からウェーハまでの距離を短くし、フットプリント抑制、処理制御性を高めています。

薄ウェーハに対応

  • パワーデバイス、MEMS、TSV、BSIセンサの使用を考慮して、SU-2000は薄ウェーハのハンドリングを可能にしました。

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