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コータ・デベロッパ RF-310A

コータ・デベロッパ RF-310A

RF3Sは、Reliable・Fast・Fine・Flexibleをコンセプトに、高い信頼性、優れた拡張性で定評のあるRF3プラットフォームをもとに、高生産性を可能にした180WPHスループットモデルです。ドライプロセスから液浸プロセスまで幅広いニーズに対応するとともに、各種独自技術により高いパフォーマンスを実現します。

特長

高信頼性
ハードウエア・ソフトウエアをシンプルにすることで高い信頼性を実現。

高生産性
プロセス処理を考慮した高スループットを実現。

微細化プロセス対応
先端微細化プロセスに対応する最新のテクノロジーを搭載。

柔軟性・拡張性
優れた柔軟性・拡張性を持つCELL構造を採用し、フレキシブルな装置構成、短納期・短期立ち上げを実現。


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