ホーム  > 製品一覧 > エリプソ式膜厚測定装置 RE-3100/3300シリーズ

印刷

エリプソ式膜厚測定装置 RE-3100/3300シリーズ

エリプソ式膜厚測定装置 RE-3100/3300シリーズ

特長

  1. 光干渉方式による測光プロファイルから概要膜厚値を求め、最適な測定方法を自動で判断し、誰でも簡単に信頼性の高い測定が可能です。
  2. エリプソメータは、ウェーハの反り等による傾きの影響を無くし、精度の高い測定が可能です。
  3. 単波長エリプソメータは、σ=0.008nm(SiO2 on Si t=2nm)の優れた再現性で超薄膜を測定します。
  4. 座標相関方式(弊社独自のアルゴリズム)の採用により、高い画像認識率を達成し、アライメントの信頼性が向上。
  5. 単波長エリプソメータの光源に長寿命のレーザダイオードを採用し、ランニングコストを低く抑えています。

ページの先頭に戻る