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大型パネル用直接描画装置 DW-6000

大型パネル用直接描画装置 DW-6000

特長

    コンセプトビジュアル
  1. 世界最高水準の「2.0μm高解像度描画」
    独自のiGLV光学エンジンを搭載した描画ヘッドと、長年培った光学システムによるレーザー制御技術を融合し、量産型直接描画装置として世界最高水準の解像力2μmを実現。今後ますますファイン化が進む先端パッケージのパターニングに対応します。
  2. L/S 5μm解像度で高速・高精度描画
    高出力355nmYAGレーザーと4台の描画ヘッド(Quad head)の組み合わせにより、L/S 5μmの高解像で1時間
    あたり70枚という高スループットを実現。※ 基板サイズ:500×500mm
  3. 高精度画像補正機能「Die-by-Dieアライメント」
    SCREENの誇る先進の印刷画像解析技術を応用した、独自の画像自動補正機能を搭載。チップ再配置時の位置ズレを読み込んで、露光データを自動的に補正することで、直接描画装置の優位性を生かした最適露光を実現できます。
  4. Gray Scale 露光
    独自の画像処理技術によりviaと配線パターンの一括同時形成が可能。
  5. FOPLP向け大型パネルに最適
    最大620mm×650mmまでの大サイズ角型パネルをカバー。ガラス、樹脂、PCBなど材質を問わず、FOPLP製造に幅広く対応します。
  6. 各種レジスト塗布システムに対応
    当社高精度リニアコータをはじめ、各種レジスト塗布システムとの組み合わせが可能です。

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