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コンパクトウェットステーション CW-2000

コンパクトウェットステーション CW-2000

特長

  1. オールインワンコンセプト
    薬液供給ユニットおよび冷却ユニットを本体内部に搭載。
    当社従来装置との比較で約45%の省スペース化を実現しました。
  2. 多様な処理ウェーハに対応
    1台の装置で、50mmから200mmまで幅広いサイズに対応します。
  3. 新乾燥ユニットをラインアップ
    従来のDIS(Drain & IPA Substitution)乾燥に加えて、IPAを使用しない環境に優しい温風乾燥方式(HBD: Hot Blow Drying)を新たにラインアップ。お客さまの使用条件に応じて選択が可能です。
  4. フレキシブルな拡張性
    お客さまの生産性と導入スペースに応じて、処理槽数を4・6・8槽と拡張可能です。
  5. 生産性アップ
    従来比1.5倍の毎時150枚の生産を実現。さらにハーフピッチ仕様(オプション)では、最大毎時300枚まで生産性が向上します。
  6. RCA洗浄に対応
    半導体洗浄で従来から主流となっている、歩留まり向上に有効なRCA洗浄にも対応します。

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