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コンパクトウェットステーション CW-1500

コンパクトウェットステーション CW-1500

特長

  1. 従来機(ウェットステーション WS-620C)の機能を絞り込み、バッチ式自動洗浄装置の低価格化とフットプリント64%の削減を実現。
  2. 自由度の高い搬送アームを搭載。
  3. マニュアル作業で行なっていた危険薬品の取扱いや複雑・煩雑化する洗浄/エッチング作業を安全で快適な作業環境で行えます。
  4. 薬液から水洗までの処理を自動化することにより、処理時間のバラツキをなくし、エッチング均一性を向上させています。
  5. 乾燥槽は、スピン乾燥とIPA乾燥から選択。特にIPA乾燥では、新方式を採用しVOCを大幅に削減可能。
  6. 研究開発・試作・小ロット生産・量産に向けたパイロットライン設備まで、用途や目的に応じて幅広く対応しています。

仕様

ウェーハサイズ φ50mm~φ200mm
搬送方式 ロボットアーム搬送
処理方法 バッチ処理
処理単位 1キャリア
乾燥方式 スピン乾燥、またはIPA乾燥から選択
最大処理槽数 6槽(最大薬液槽数:3槽)
外形寸法(W×D×H) 2,700mm × 1,350mm × 2,580mm
重量 約1,600kg
フットプリント64%削減

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