SCREEN 半導体機器カンパニー

特長

1. 2タイプの搬送方式を準備
   キャリア搬送処理のWS-820C/620Cと、キャリアレス搬送処理のWS-820Lを提供します。
2. フレキジブルな設計
   目的に応じて、自由なシステム構成が可能。処理槽構成は最大13槽まで構成可能です。
3. 高スループット
   複数槽設置と最大6台まで搭載可能な搬送ロボットにより、高スループットを実現します。
4. 高品質処理
   処理槽設計の最適化や厳しい薬液管理、クリーンな乾燥部などにより、安定して高品質な処理が可能です。
5. 周辺機器も充実
   ウェーハ移載機、カセットストッカなどの周辺機器も多種準備しています。
6. ウォータマークを抑制
   減圧乾燥装置が搭載可能なため、ウォータマークの発生を低減したクリーンな乾燥ができます。（WS-820Lのみ対応）