SCREEN 半導体機器カンパニー

特長

1. 同一プラットフォームに複数の処理ユニットを搭載可能。（最大4ユニット）
2. 処理タクトに合わせてユニットの組み合わせを、1＋3、2＋2のように選択可能です。
3. 反転ユニットを搭載することにより、薬液・物理洗浄を表裏区別無く両面処理できます。
4. 新材料、微細化により生まれる新たなプロセスに対してもユニットを組み合わせて対応できます。
5. バッチ式での同時両面処理では汚染の転写が発生していましたが、SU-3000では、転写がなく両面の処理が可能。
6. FEOLにおいて高い評価を誇る薬液処理のMPユニットと物理洗浄でトップシェアのSSユニットを組み合わせて、さらに高い清浄度を得られます。