スクラバ SS-80BW
特長
- ウェーハのベベル部の洗浄を可能とする新技術を搭載。洗浄ブラシを高精度で駆動、制御することにより、薬液では困難とされているベベル部の汚れを除去。(自公転ブラシとの置き換えにより対応)
- 自公転ブラシ洗浄によりウェーハ両面からパーティクルをシャットアウト。MHz帯の超音波純水によりさらに微小なパーティクルを除去するD-Sonic洗浄(オプション）、流体ノズルであるNanospray（オプション）、Softspray（オプション）も付加できます。
- ウェーハ搬送のスピードアップ、スピン乾燥時間の短縮、および4ヘッド搭載システムにより、1時間あたり最大144枚(システム構成と処理条件により異なる)の高速処理が可能になりました。
- 微小荷重域での安定性を特長とするブラシ圧コントロール機能(オプション)とブラシ回転数のレシピ制御機能を装備。ウェーハの表面の膜種と汚染に応じて最適な洗浄が可能です。また、ブラシの高さの微妙な調整もメインパネルで数値入力するだけの作業です。
- 裏面スクラブユニットには特殊チャックを採用しています。
- 処理条件に応じて各種材質のブラシを幅広く準備しています。
- 操作性とメンテナンスに配慮した設計を採用しています。
- 装置一体型のファンフィルタユニット（FFU）もオプションで対応可能です。
スクラバ SS-W60A
特長
- 独自の搬送機構を採用してユニット間スペースを削減。装置がコンパクトです。
- 独自の自公転ブラシスクラブによってウェーハの両面をハイクリーン洗浄。また、1.5MHzの超音波を利用したD-Sonic洗浄ユニット(オプション)も採用できます。
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