SCREEN 半導体機器カンパニー

特長

1. 幅広い薬液に対応する仕様を準備して、アルミ配線からCu/Low-k配線工程まであらゆるエッチング後の残渣（ポリマ）のバリエーションに対応します。また、薬液による化学作用に加え、リンスの吐出方法や物理作用の併用が可能。従来の薬液のみに依存していたバッチ処理に比べてポリマ除去性能が大幅に向上するうえ、メタルの腐食や酸化膜のエッチング、Low-k材のダメージも抑制できます。
2. 枚葉処理だから薬液洗浄から純水リンスへの切り替えがスピーディー。これまでのバッチ処理で必要とされていた中間リンス工程が不要となります。また、ケミカルキャリーオーバーもないため、クリーン度も大幅にアップします。
3. 本体に搭載可能なチャンバ(最大4チャンバ)のすべてで同一の薬液を使う少品種大量生産仕様、および各チャンバで異なる薬液を使用する多品種少量生産仕様など、生産目的と規模に合わせたシステム構成が可能です。
4. ポリマ除去液の循環システムを採用していますので、薬液の消費量を低減できます。また、薬液や純水が接液する部分の材質はメタルフリー設計なので、メタルコンタミネーションの心配がありません。
5. 超音波純水によるD-Sonic（オプション）、2流体ノズルであるNanospray（オプション）、Softspray（オプション）も搭載可能です。