SCREEN 半導体機器カンパニー

特長

1. プロセス処理をワンチャンバで完結
   カップ形状の工夫により、従来分かれていた薬液処理と純水リンス、乾燥を同じチャンバにて処理可能にしました。それにより雰囲気汚染を解決するとともに従来の枚葉装置のネックであったスループットの向上を実現しました。
2. 洗浄および乾燥性能アップ
   チャンバ内の気流を最適化することにより、ウェーハ上へのミストの回り込みを防止します。さらに、ウェーハ上下からN2 の吐出を行うことにより局所的雰囲気置換をスムーズに行えます。この機構の採用により乾燥時間の短縮、乾燥性能をアップしました。
3. 各種ユーティリティ消費量を削減
   新薬液供給・回収システムの採用と吐出条件の最適化により、薬液・純水の消費量を削減しました。また、チャンバ、カップ内気流の制御と排気系( ミスト、蒸気の巻き上げ、装置外への薬液雰囲気漏洩の防止) を最適化することにより、排気量を低減しています。