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コンパクトウェットステーション CW-1500
特長
- 従来機（150mmウェーハ対応のウェットステーション WS-620C）の機能を絞り込み、バッチ式自動洗浄装置の低価格化とフットプリント64％の削減を実現。
- 自由度の高い搬送アームを搭載。
- マニュアル作業で行なっていた危険薬品の取扱いや複雑・煩雑化する洗浄/エッチング作業を安全で快適な作業環境で行 えます。
- 薬液から水洗までの処理を自動化することにより、処理時間のバラツキをなくし、エッチング均一性を向上させています。
- 乾燥槽は、スピン乾燥とIPA乾燥から選択。特にIPA乾燥では、新方式を採用しVOCを大幅に削減可能。
- 研究開発・試作・小ロット生産・量産に向けたパイロットライン設備まで、用途や目的に応じて幅広く対応しています。
仕様
| ウェーハサイズ | φ50mm～φ150mm ※200mmウェーハ対応は、オプション。 |
| 搬送方式 | ロボットアーム搬送 |
| 処理方法 | バッチ処理 |
| 処理単位 | 1キャリア |
| 乾燥方式 | スピン乾燥、またはIPA乾燥から選択 |
| 最大処理槽数 | 6槽（最大薬液槽数：3槽） |
| 外形寸法(W×D×H) | 2,400mm × 1,200mm × 2,600mm |
| 重量 | 約1,600kg |
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