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スプレーコータ SC-80EX

半導体・オブ・ザ・イヤー2015グランプリ受賞

 

MEMS、SAWデバイス、パワーデバイスなどの電子デバイス製造工程においては、立体構造を持つデバイスのパターン形成やさまざまな材料塗布の必要性がますます高まっています。このような市場ニーズに応えて、研究開発から量産までの幅広い用途に対応し た80EX スプレーコータを開発しました。
SCREENが、半導体製造装置で培った各種技術を応用展開し、凹凸のある立体構造に対して、レジストや保護膜材料などの、最適な塗布処理を可能にします。

特長

  1. 段差基板や貫通基板の塗布が可能
    独自のスプレー塗布技術により、スピンコータでは困難とされる凹凸のある段差基板や貫通基板に対して、レジストや保護膜材料などを安定かつ均一に塗布することができます。
  2. 少ない薬液消費量で厚膜塗布を実現
    低粘度レジストを複数回塗布することで厚膜塗布に対応するとともに、スピンコータと比較し、より少ない薬液消費量で塗布を可能にします。
  3. フレキシブルな装置構成
    研究開発から量産まで用途に応じて、フレキシブルかつ最適な装置構成が構築できます。
  4. 高スループット
    独自の搬送システムと複数の処理ユニットを搭載することで、高スループット処理を実現します。
  5. 簡単メンテナンスによるダウンタイム低減
    装置構造をシンプルにすることで、メンテナンスのための交換部品の脱着をより簡単に行える設計としています。また、ミスト飛散抑制構造により装置内汚染を最小限に抑え、簡単メンテナンスを実現することで装置ダウンタイムを低減します。

仕様

ウェーハサイズ φ100mm~φ200mm
搬送方式 ロボットアーム搬送
処理方法 スプレー塗布方式
ウェーハ温調機能付き
スプレーノズル 薬液用:最大2ノズル搭載可
溶剤用:1ノズル搭載可 

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