株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズはこのほど、200mm半導体ウェーハ対応の枚葉式洗浄装置「スピンスクラバー SS-80EX」を開発。スマートフォンや車載用途を中心とした、さまざまな電子デバイスの量産に適したこの装置の販売を、2015年12月から開始します。

スピンスクラバー SS-80EX

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近年、スマートフォンや車載用途を中心に、200mm半導体ウェーハを用いて生産される電子デバイスの需要が拡大しています。また、今後はIoT（Internet of Things）が加速すると予想されており、全ての物が通信機能を持ち、相互につながる時代が近づいています。これには、さまざまな種類の電子デバイスが大量に必要になるため、半導体部品を中心とした電子デバイス業界では、ウェーハの表面状態に応じて洗浄手段の変更が可能な、生産性の高い枚葉式洗浄装置へのニーズが高まっています。

このような動向を背景に、当社は高い信頼性と安定性により、業界で揺るぎない地位を確立している200mm半導体ウェーハの枚葉式洗浄装置「スピンスクラバー SSシリーズ」の最新機種「スピンスクラバー SS-80EX」を開発しました。この装置は、以前から定評のある、目的や用途に合わせた多彩な洗浄ツールやフレキシブルな装置構成を継承しつつ、搬送機構を刷新することで、1時間当たり約160枚のウェーハ洗浄を可能にしました。また、ユーザーインターフェースを全面リニューアルし、操作性の向上を実現した他、チャンバーの稼働中に、別のチャンバーのメンテナンスが可能なチャンバー分離設計を採用することで、装置のダウンタイムの大幅な低減を可能にするなど、生産性の向上に大きく貢献する装置となっています。

当社は、今回の「スピンスクラバー SS-80EX」の発売により、スマートフォンや車載用途の他、IoTの加速によって需要の拡大が見込まれる200mm半導体装置市場のビジネス拡大を目指します。そして、今後も半導体業界のさまざまなニーズに応え、同業界の発展に貢献していきます。

本件についてのお問い合わせ先：
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
社長オフィス 企画部
TEL:075-417-2527

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