SCREEN_Quality

製品一覧

  • コータ・デベロッパ

    高生産性・高性能化を実現した世界最高水準の塗布現像装置。

  • ウェーハ洗浄装置

    さまざまな生産プロセスに適したウェーハ洗浄装置。

  • 熱処理装置

    独自技術搭載により、さらに進化した熱処理装置。

  • 計測装置

    幅広いウェーハサイズに適応する、高精度計測装置。

  • 検査装置

    工程内検査から最終外観検査まで、幅広く対応する検査装置。

  • 後工程用露光装置

    多彩なオプションを搭載した後工程専用露光装置。

FRONTIERプロジェクト

低炭素社会の実現に大きく貢献する、環境にやさしい製品。

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2017年7月10日 お知らせ フットプリント半減、生産性1.5倍の優れたコストパフォーマンスを実現したウエット洗浄装置を開発
2017年7月10日 お知らせ IoT向け電子デバイス市場のニーズに対応した検査・計測装置を開発 ~統合プラットフォームを採用した高精度・高生産性モデルをラインアップ~
2017年7月10日 お知らせ 最先端デバイスの特性改善に大きく貢献する熱処理装置を開発 ~ミリ秒単位で加熱温度プロファイルを高精度にコントロール~
2017年6月 5日 お知らせ 半導体先端パッケージ工程の量産に対応した直接描画露光装置の高生産性モデルを販売~業界最高水準の5μm解像度で毎時70枚の高速処理を実現~
2017年5月23日 展示会・イベント SCREEN Breakfast Forum 2017 @ SEMICON West 2017 July 12
 
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