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太陽電池関連事業
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結晶シリコン用PSG膜除去装置
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結晶シリコン用 PSG膜除去装置 PV-1500-V

＜結晶シリコン系＞
PSG膜除去装置
PV-1500-V

半導体製造プロセスで培った技術を生かし、シリコンウエハー上のリンガラス膜の除去を、以下の工程によって自動で処理します。

HF気相でのPSG膜除去→純水シャワー洗浄→IPA乾燥

特長

  • HF気相処理により、廃液の量を大幅に削減
  • PSG膜の除去時間を短縮
  • PSG膜除去後のウエハー表面は乾いた状態に近いため、水洗槽への薬液の持ち出しを防止
  • 薬液を持ち出さないため、水洗時間の短縮を実現