SCREEN English Site大日本スクリーン公式サイトトップへ
太陽電池関連事業
薄膜用測定装置(RE-8000)
薄膜用洗浄・エッチング装置
結晶シリコン用PSG膜除去装置
結晶シリコン用テクスチャー処理装置
シリコン原石用洗浄装置
スリット方式塗布装置(リニアコータ)
不活性ガス精製装置
バッチ式PV用拡散炉

<結晶シリコン系>
テクスチャー処理装置
PV-1500-T

<結晶シリコン系>
テクスチャー処理装置

PV-1500-T

PV-1500-Tはシリコンウエハー上に最適なテクスチャ―を形成します。

特長

  • プロセスに応じて、各処理槽の数量などのカスタマイズが可能
  • テクスチャー形成前の洗浄機能追加などのカスタマイズが可能