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不活性ガス精製装置

不活性ガス精製装置

本装置と接続した密閉容器内に不活性ガスを循環させ、ガス中の酸素・水分を除去し、密閉容器内の酸素・水分濃度を低濃度で維持します。
特殊触媒により酸素除去を行い、特殊吸着剤により水分除去を行います。反応塔・吸着塔は再生が必要となりますが、ご要望により各々の塔を2塔設けることで、一方が再生中でも、切り替えによる連続運転が可能です。
(水生成方式の場合、反応塔の再生は不要な為、反応塔は1塔となります。)

システム例

密閉容器内の不活性ガスを循環させることにより、密閉容器内を酸素濃度1ppm以下、露点-76℃以下の環境を保持することが可能です。

仕様・ラインアップ

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水生成方式 120タイプ 量産用チャンバーシステム 実験用グローブボックスシステム
水生成方式 120タイプ
量産用
チャンバーシステム
実験用
グローブボックスシステム