＜結晶シリコン系＞
シリコン原石用洗浄装置

半導体製造プロセスで培った技術を生かし、シリコン原石に付着した異物を除去することにより、コンタミのない洗浄装置を提供します。
洗浄においては、原石をバケットに入れ、薬液洗浄と純水洗浄を何度も繰り返します。