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SCREEN HOT NEWS

ホットニュース

SCREENの持つ技術力をバックボーンに新たな市場を開拓している製品と、
次世代のSCREENの可能性につながる、先進的な産学共同研究をご紹介していきます。

技術開発

SCREENホールディングス

#01製薬業界向けインクジェット式錠剤印刷機「DP-i3000」

独自のコア技術を応用し、ライフサイエンス分野への事業展開を加速

医薬分野では近年、調剤ミスや誤飲防止などを目的に、パッケージだけでなく錠剤本体にも製品情報を表示し、薬の識別性を向上させる取り組みが進んでいます。しかし、表面の平滑性が悪い素錠や口腔内崩壊錠(OD錠)では接触方式による印刷が難しく、簡単な文字しか表示できませんでした。素錠やOD錠に対しても識別性の高い情報表示ができる印刷方法へのニーズが高まる中、SCREENホールディングスは非接触による両面印字や印字検査が可能なインクジェット式錠剤印刷機「DP-i3000」を開発。製薬業界へ向けて販売を行っています。

商業印刷用のインクジェット分野で培った直接描画技術の応用により、1時間当たり最大30万錠という高い生産性と、高精細な非接触印刷の両立を実現。また、半導体やプリント基板検査装置で定評のある検査技術を活用し、印刷欠陥の高精度な検出にも対応。さらに、独自の画像処理技術の応用により、錠剤を割った場合でも名称や成分含有量が確認できるよう、業界で初めて錠剤の割線を基準とした錠剤両面への平行印字を可能にしています。

※ 当社調べ(錠剤の種類、サイズ、形状、印字デザインによる)

SCREENセミコンダクターソリューションズ

#02半導体業界向け枚葉式洗浄装置「SU-3300」

世界最高水準の生産性と高い処理性能を実現

近年、半導体業界ではデバイスの微細化・多様化に伴い、ウエット洗浄装置には微細なパターンの倒壊抑制、微小パーティクルの制御などの課題をクリアする安定性と、さらなるトータルコスト低減を実現する高い経済性が求められています。このような業界のニーズに応えるためSCREENセミコンダクターソリューションズでは、長年培ってきた枚葉式洗浄装置のノウハウを発展させ、世界最高水準※1となる処理能力と、独自の洗浄処理技術を備えた半導体ウエハーの枚葉式洗浄装置※2「SU-3300」を開発。
チャンバーサイズを最小化した4段積みタワー構造により最大24台のチャンバーの搭載が可能で、設置スペースの効率化と併せて世界最高水準の生産性を実現。洗浄処理においても、独自のクリーン化技術を進化させることで、チャンバー内の処理環境を向上させ、微細化が進む半導体デバイスに対応しています。さらにエッチングの均一性と薬液消費量の削減を同時に実現する「Nano control nozzle」※3や、微細なパターンの倒壊を抑制する乾燥技術「Nanodry7」※4など、処理性能を高める独自の新技術を搭載しています。

  • 実用洗浄処理の領域における生産性(2016年8月現在、当社調べ)。
  • ウエハーを1枚ずつ洗浄する装置。50枚のウエハーを一度に洗浄するバッチ式洗浄装置よりも洗浄能力が高い。
  • 薬液の温度・流量・吐出位置を高精度に制御する当社独自技術により、従来ノズルの約半分の薬液使用量で、均一性の高いエッチングが行える。
  • ウエハー上の気液界面(三相界線)の制御を、高精度かつスピーディーに処理する新乾燥技術。チャンバー内の温度・湿度を常に最適な状態にコントロールすることにより微細なパターンの倒壊抑制に優れた効果を発揮。
SCREENセミコンダクターソリューションズ

#03パネル向け直接描画露光装置「DW-6000」

業界最高水準※1の5μm解像度で毎時70枚の高速処理※2を実現

半導体ウエハープロセスの微細化のスピードが落ち着いてきた現在、後工程パッケージ技術への期待が高まっており、特にアドバンスドパッケージと呼ばれる先端分野において多種多様な技術開発が進んでいます。
中でも注目度の高い半導体チップの積層化、Fan-Out化に対応し、高精度露光を実現したのが直接描画露光装置「DW-6000」です。高出力の355nmYAGレーザーと4台の描画ヘッドの組み合わせにより、最小線幅5μmの解像度で1時間当たり70枚という、量産向け直接描画露光装置として業界最高水準のスループットを実現。
また、独自のiGLV※3光学エンジンとレーザー制御技術の融合により、解像力2μmの超高精度露光や、Fan-Out化で課題となる半導体チップ再配置時の位置ズレに対し、露光データを自動的に補正する画像自動補正機能など、従来装置の優れた性能を継承しています。
SCREENセミコンダクターソリューションズでは、今後ますます微細化が進む先端パッケージの量産化に対応し、半導体業界の発展に貢献しています。

  • 量産型の直接描画装置としての処理枚数。(2017年6月現在、当社調べ)
  • 基板サイズ 500mm×500mm
  • iGLV(integrated Grating Light Valve)
    MEMS(微小電子機械システム)と呼ばれるセンサーや通信・バイオ分野で使用されている半導体技術と、光の干渉性を利用して、光の向きや強度を制御する表示素子。半導体素子の基板上に光を反射するリボンを並行に配列した構造で、柔軟性の高い露光処理が可能。
SCREENグラフィックソリューションズ

#04UVインクジェット印刷機「Truepress Jet L350UV+LM」

1台で幅広い印刷用途に使用可能な食品用ラベル対応モデル

消費者ニーズの多様化に伴い、食品パッケージ用ラベル印刷市場では、多品種・小~中ロットの需要が年々増加しています。そのため、印刷業界においては多様な基材に対応でき、食品の安全性を確保できるデジタルラベル印刷機を求める声が高まっています。こうした声を受けて、食品向けパッケージに必要とされるさまざまな機能を搭載した、食品パッケージ用ラベル対応のハイエンドモデル「Truepress Jet L350UV+LM」を開発。
安全性を高めたローマイグレーション(低浸透)インクを新開発した他、UVインク硬化を促進する窒素パージ機構の搭載により、食品向けパッケージに使用するラベル印刷が可能です。最高で毎分60mの印刷スピードを実現し、従来のC、M、Y、K、Whiteに加えてオレンジインクにも対応することで、より広い色域を再現。また、UVランプによる熱の影響を受けやすい薄膜基材を安定して搬送・印刷するため、搬送ローラー部分に冷却用のチルローラーも搭載できます。さらに、ペットボトルなどで使用される薄膜基材を用いたラベル印刷にも対応できるため、幅広い印刷用途に用いることが可能となっています。

SCREENグラフィックソリューションズ

#05ヒラギノフォントが高速道路標識に採用

案内標識の視認性を飛躍的に向上

SCREENが製造・販売するヒラギノフォントが、全国の高速道路標識に使用される和文書体として採用されています。文字の端部が強調され末広がりになったデザイン、つぶれにくく遠くからも読みやすい点、他のゴシック体と比較して一つひとつの部首が明瞭で瞬間的に認識しやすいことが評価され、採用されました。
これまで必要に応じて一字一字制作されてきた従来の書体に代わり、デジタルフォントによる精度の均一化、制作工程・管理の合理化も可能になるといったメリットもあります。ヒラギノフォントは、アップル社のMacに標準搭載されているほか、書籍や雑誌の本文書体、テレビ番組やCMのテロップ、企業制定書体(コーポレートフォント)、フォトブックサービスなど数多くの採用実績があります。

SCREENファインテックソリューションズ

#06ポリイミド塗布装置「SK-Pシリーズ」

高品質な塗布技術によって歩留まり向上に貢献

次世代のディスプレーとして注目されている有機ELディスプレーは、ガラス基板だけでなく、プラスチック系のポリイミドを用いたフレキシブル基板に形成させることができます。しかし、現在のフレキシブル基板の製造工程においては、材料のポリイミドを、大サイズのガラス製支持基板に薄く均一に塗布することが難しく、フレキシブルディスプレー量産化への大きな課題になっていました。
こうした動向を受け、世界シェアの約8割を誇るコーターデベロッパーで培った塗布・乾燥技術とノウハウを承継・活用したフレキシブルディスプレー用ポリイミド塗布装置「SK-Pシリーズ」を開発。光の透明度や乱反射に影響を与えるポリイミド内の微小なごみや気泡の発生を抑制しながら、厚さ約10マイクロメートルのポリイミドを均一に塗布。最大1,500mm×1,850mmの基盤に対して、120秒以下で塗布処理することが可能となっています。

  • 高分子化合物の総称。非常に高い機械強度、優れた耐熱性、電気絶縁性を持ち、耐薬品性にも優れている。ポリイミドフィルムは、OA機器やカメラ用のフレキシブルプリント配線板、電線の層間絶縁材や半導体の保護膜などとして広く利用されている。
SCREEN PE ソリューションズ

#07光学式外観検査装置「MIYABI 7」

欠陥検出精度の向上とイージーオペレーションを高いレベルで両立

近年、スマートフォンやタブレット端末など小型デバイスの進化に加え、車の衝突防止機能や自動運転など安全装置の普及とともに、HDI基板やフレキシブル基板には、高密度化・高精細化への要求が高まっています。このような動向を背景に、30年以上にわたるプリント基板検査技術をさらに進化させたハイエンドHDI基板向け光学式外観検査装置「MIYABI 7」を開発。独自開発の多角ラインドーム型照明を搭載し、これまでパターン部と基材部のコントラストが確保しづらかった基板に対しても、良好な検査結果を提供。基板の種類に応じて波長の異なる3種類の照明が選択できます。
また、サブミクロン単位の測長を可能にする新しい穴検査ロジックなどの搭載により、欠陥検出精度を飛躍的に向上させることに成功。さらに、専用のセットアップステーション「CU-9000」もシステムを刷新。プリント基板製造工程の改善につながる新たな付加価値を提案し、プリント基板業界の発展に貢献していきます。

SCREENアドバンストシステムショリューションズ

#08AIサジェスト検索システム

経験や個人スキルに依存せず高精度な検索結果を取得可能

インターネットで検索したい内容についての正確な情報を入力しなくても、世界中の検索履歴を基にした関連性の高いキーワードを類推して表示する検索サジェスト機能が充実したウェブサイトが多く見られるようになりました。一方、企業や大学などが組織の中で構築しているイントラネット環境においても、日々データベースサーバーに蓄積されていく膨大な情報から、必要なものだけを効率的に抽出できる、より優れた検索機能が求められています。
こうした背景を受けて、SCREENグループが長年にわたって培ってきたソフトウエア開発に関する実績とノウハウを基に、AI(人工知能)サジェスト機能を搭載したイントラネット検索システムを開発。AIを駆使した独自の自然言語処理アルゴリズムにより、イントラネット内に保管された大量の文書・テキストデータから情報を抽出・解析し、類推されるサジェストキーワードと同義語辞書を自動生成。入力履歴に基づく検索サジェストとは全く異なるアプローチによって、作業効率を飛躍的に向上させることができます。

産学共同研究

SCREENホールディングス

#01テラヘルツ技術を活用した太陽電池評価システムを装置

太陽電池研究開発の進歩に貢献

低炭素社会の実現に向け、世界中で再生可能エネルギーの活用が進んでいます。中でも太陽光発電は、自然エネルギーを使用する代表的な発電方法として、今後さらなる普及が期待されています。一方で、商用太陽電池の約80%を占める結晶シリコン太陽電池は、発電時にさまざまなエネルギー損失が発生することが課題の一つとなっています。そのため、瞬間的な発電状態の変化が、エネルギー変換や損失に与える影響を検証することができれば、発電効率を高める研究開発につながると考えられています。
こうした理論を実証する有効な方法として2011年10月、大阪大学との共同研究により「レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡※1(以下LTEM)技術」を用いて太陽電池から発生するテラヘルツ波※2を計測し、1兆分の1秒という極めて短い発電状態の変化を可視化することに世界で初めて成功しました。その後もこの技術の実用化に向けて研究開発を進めた結果、LTEM技術による太陽電池評価システムの装置化に成功。この装置を再生可能エネルギー分野の世界的な研究開発拠点「産業技術総合研究所 福島再生可能エネルギー研究所※3」に設置し、太陽電池研究開発を支援しています。

  • 大阪大学 レーザーエネルギー学研究センターの斗内教授が開発した、テラヘルツ波応用解析装置。約100フェムト秒という極めて短い時間のレーザーパルスを半導体、超伝導体、強誘電体などの材料やデバイスに照射することにより、発生するテラヘルツ波を検出し、可視化できる顕微鏡(1フェムトは1,000兆分の1秒)。
  • 周波数がテラ(1テラは10の12乗)の領域にあることに由来。100GHz(ギガヘルツ)~30THz(テラヘルツ)程度の周波数で、3mm~10μmの波長を持つ電磁波。
  • 2014年4月に福島県郡山市において開所。「世界に開かれた再生可能エネルギーの研究開発の推進」と「新しい産業の集積を通した復興への貢献」を大きな使命とし、国内外から集うさまざまな人々と共に、再生可能エネルギーに関する新技術を生み出し発信する拠点を目指している。
SCREENホールディングス

#02摘出臓器の長期保存・機能蘇生に関する共同研究

移植医療・再生医療分野の発展に向けて

臓器移植治療は、機能不全に陥った臓器の抜本的な治療方法として期待されています。
しかし、国内における臓器移植の実施数は臓器移植を希望している患者数に対して15%程度に留まっており、ドナー臓器不足は深刻な問題となっています。
その理由として、現在主流となっている摘出臓器を保存液に冷温で浸漬して保存する単純冷却方法では、摘出した臓器の保存時間が短いことが挙げられます。一方、世界的にもドナー臓器不足の解消に向けて、心停止ドナーの臓器の利用拡大に向けた取り組みが求められています。
こうした背景を受けて、2015年4月より理化学研究所およびオーガンテクノロジーズと共同で、移植治療を目的とした臓器の長期保存および機能蘇生を可能にする次世代臓器かん流培養システムの装置化に関する研究に着手。当社が半導体洗浄装置で培った液体制御技術や装置化に関するノウハウと、理化学研究所およびオーガンテクノロジーズの臓器培養に関する技術を融合し、装置の実現を目指しています。

SCREENセミコンダクターソリューションズ

#03サプライヤーハブ構想※1を活用した先端共同開発

飛躍的な進化を遂げる業界のニーズに対応するために

昨今の半導体業界の目覚ましい進歩に伴い、製造装置にもさらなるクオリティーアップが求められており、装置および素材サプライヤーの役割がますます重要になっています。サプライヤーが研究開発の早い段階から、主要な半導体デバイスメーカーや関連するサプライヤーと協力関係を構築できれば、製造技術の急速な進歩の促進、効率的な開発投資とリスクの最小化、費用対効果の最大化を図ることができます。
こうした背景を受けて、2014年11月、「洗浄」「ウエットエッチング」「リソグラフィー(コーターデベロッパー)」の各分野に関して、imec※2のサプライヤーハブ構想を活用する先端共同開発に合意しました。これによりimecの研究開発プラットフォームの活用が可能となり、プロセスコントロール技術、ハードウエア・ソフトウエア等のオプション開発、新しい材料の評価等を促進することに成功しています。また、共同開発契約に基づき、当社の枚葉式洗浄装置「SU-3200」、コーターデベロッパー「SOKUDO DUO」をimecに設置。先端洗浄技術および先端リソグラフィープロセス技術の開発を効率的かつ広範囲に展開しています。

  • 「中立的なオープンイノベーション研究開発プラットフォームの提供」を目的とした構想。これにより先端プロセス開発においてサプライヤーが従来よりも深く、かつ初期段階から開発に関与することが可能。
  • ナノエレクトロニクス研究で世界をリードする研究機関。科学的知識に基づく技術革新を目指し、情報通信・ヘルスケア・エネルギー技術について世界中の企業と共同研究を行っている。
SCREENセミコンダクターソリューションズ

#04半導体製造のキーとなる3機種をIBM Research※1に納入

最先端の半導体プロセス開発に寄与

2016年10月、半導体洗浄装置「SU-3200」、UVレーザーアニール装置「LT-3100」、コーターデベロッパー「DT-3000」の3機種が、IBM Researchに導入されました。
「枚葉式洗浄装置SU-3200」は、最先端の7nm以降の半導体製造において、微小パーティクルやパターン倒壊のないウエット洗浄プロセスを提供。「LT-3100」は、クリティカルレイヤーの溶解温度での活性化および再結晶化など、ナノ秒単位で処理を行えるUVレーザーアニールの応用技術の評価に用いられています。「DT-3000」は、リソグラフィーパターニングツールラインに導入され、下層膜塗布の開発促進等に活用されています。
IBM Researchに装置が選ばれたことは、 SCREENの装置技術やリソースが、最先端半導体プロセス開発に大きく貢献できることを証明するものでもあります。

  • 「最先端ロジック半導体の研究を進めている企業。世界13ヶ所の研究所に3000人を超える研究者を擁しており、6名のノーベル賞受賞者を輩出している(2016年10月現在)。
成長のプロセスを楽しめ