最終外観検査装置 FP-9200

特長

簡単・高速セットアップ

セットアップもパラメータ調整も、簡単操作で自動設定

基板画像スキャンからマスター生成までセットアップ作業が一括で自動設定できる「オートプリペア」、テスト基板搬送を省略して繰り返しテストができる「試し検査」、さらに検査パラメータ調整をアシストする「オート虚報除去」などさまざまな機能を搭載したFP-9200。当社従来機と比べてさらに簡単・高速なセットアップを可能にしました。
fp9200_img01.png

高分解能・高検出力

コール数を最小限に抑えた安定的な欠陥検出環境を実現

従来機の30μm分解能に加え、18μmの高分解能モデルをラインアップしたFP-9200。ソルダーレジスト下の欠陥検出精度を大幅に高めるIR照明や、検出しづらい欠陥を検出する多彩な検査アルゴリズムを搭載。高精度な検査要求にも高いレベルでお応えします。
fp9200_img02.png

検査結果を「学習」し、ベリファイ工数を大幅に削減

虚報フィルタリングシステム(開発中)

人手によるベリファイ作業で行っていた真欠陥と虚報の分類結果をデータとして蓄積。検査装置が欠陥と判断した基板のうち、過去の分類結果をもとにAIが虚報を自動分析し、ベリファイにかかるボリュームを少なく抑えます。学習をさせればさせるほどに欠陥の検出精度が向上するのはもちろん、ベリファイにかかる工数を大きく削減でき、AVI工程の省力化・省人化に貢献します。

虚報フィルタリングシステム

PDFカタログ

PDFカタログダウンロード

Direct Imaging System Ledia 6