コンパクトなボディーに多才な機能を搭載

特長

1. 平坦結像型ホログラフィック凹面回折格子と、１次元CCDイメージセンサの採用により2000点以上のサンプリングポイントを可視光域の全波長域にわたって同時測光しますので、非常に再現性の優れた測定データが得られます。
2. OSにWindows NTを採用。従来のキー操作からマウスによる簡単操作が行えるようになりました。また、レシピウイザード機能を使用することにより、複雑なレシピ作成作業を簡単に行え、レシピの管理、登録数も大幅に向上しています。
3. 測定データの3次元マッピング表示、膜厚値修正機能、ヒストグラム表示、統計計算などデータのきめ細かい2次加工が可能です。
4. オートステージ、オートフォーカス等のオプション機能を準備、自動測定が可能です。
5. 標準で25膜種の膜厚測定と分光反射率測定に対応。また、標準以外の各種測定プログラムを幅広く準備しています。
6. 最大4層膜までの積層膜同時測定が可能です。
7. 屈折率測定が可能です。（最大4層膜サンプルの1層）
8. LAN対応することにより、工場内のネットワークに簡単に接続できます。（オプション）