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FPD製造プロセス

フラットパネルディスプレー(FPD)の代表である液晶ディスプレーは、2枚のガラス(サイズは第8世代で2,200×2,500mm)に挟まれた5μmほどのすき間に封入された液晶(固体と液体の中間的結晶特性をもつ物質)に電気を通すことで、光の通過と遮断をコントロールして映像を映し出すものです。これは、平均的に同じ方向を向こうとする性質を持ち、電圧をかけることで方向が変化する液晶の特性を利用しています。液晶ディスプレーの製造工程においては、ガラス基板上の回路形成が大部分を占めます。

アレイ工程
 
カラーフィルター工程
   

ベースとなるガラス基板上に付着したミクロン単位のパーティクル(ごみ)や有機物を洗浄し、除去します。
洗浄
FPD製造プロセス
ベースとなるガラス基板上に付着したミクロン単位のパーティクル(ごみ)や有機物を洗浄し、除去します。


ガラス基板上に、回路の素材となる材料の層を薄膜形成(成膜)します。
成膜
FPD製造プロセス
   


膜特性を測定し、前工程の品質管理を行います。
評価・測定
FPD製造プロセス
   


レジスト(感光液)をスリットノズルから吐出し、ガラス基板上に均一に塗布します。
レジスト塗布
FPD製造プロセス
ブラックおよびカラーのレジスト(感光液)をスリットノズルから吐出し、ガラス基板上に均一に塗布します。


膜厚などを測定し、前工程の品質管理を行います。
評価・測定
FPD製造プロセス
   


光を照射し、回路パターンを焼き付けます。光が当たった部分だけレジスト膜は変質します。
露光
FPD製造プロセス
光を照射し、カラーフィルターパターンを焼き付けます。ブラックレジストは光が当たった部分だけ、カラーレジストは光が当たらなかった部分だけのレジスト膜が変質します。


光が当たった部分を溶解して薄膜を露出させます。
現像
FPD製造プロセス
光が当たった部分または当たらなかった部分を溶解してパターンを露出させます。


線幅などを測定し、前工程の品質管理を行います。
評価・測定
FPD製造プロセス
   


レジストに覆われていない薄膜を腐食させて除去し、トランジスタ回路を形成します。
エッチング
FPD製造プロセス
   


マスクの役目を終えたレジスト膜を除去します。
剥離
FPD製造プロセス
   


トランジスタ回路を形成したガラス基板とカラーフィルターパターンを形成したガラス基板の間に、液晶を充填します。その後、偏光板、バックライトの順に張り合わせ、液晶ディスプレーが完成します。
液晶充填・組み立て
FPD製造プロセス
 


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