50mm〜300mmまでの幅広いウェーハサイズに対応

特長

1. 鏡筒、手動XYステージ、電動レボルバ、対物レンズ、フィルタ挿入部、光源からなる顕微鏡部と分光器で構 成されており、分光器には、光ファイバー入力式CCD分光器を採用しました。これによりサンプル面の反射光を可視光域の全波長域にわたり同時に測定でき、 膜厚を高速、高精度に測定します。
2. OSにWindows^®XPを採用。マウスによる簡単操作が可能になりました。
3. レシピウイザード機能を使用することにより、複雑なレシピ作成作業を誰でも簡単に行えるようになりました。また、レシピの管理、登録数も大幅に向上しました。
4. 標準25膜種の測定膜種に加え、測定膜および基板の光学定数（屈折率、吸収係数）のユーザ登録機能を利用することにより、標準以外の各種測定プログラムをユーザ自身が、自由に作成、登録できます。

*Windows^®は米国マイクロソフト社の米国およびその他の国における登録商標です。