CSRの取り組み

ホーム > CSRの取り組み > 環境報告 > グリーンプロダクツ:FPD機器

印刷

FPD機器

製品の省エネ化

需要の高まりをうけ、環境にやさしい液晶ディスプレーづくりを支える

省エネルギーで環境性能に優れる液晶ディスプレー。当社はその製造工程での省資源、省エネルギー化を追求し、環境にやさしい液晶ディスプレーづくりを支えます。新規装置にも環境技術を積極的に展開していきます。

フラットパネルディスプレー製造装置「コーターデベロッパー SKシリーズ」注1

図:フラットパネルディスプレー製造装置「コーターデベロッパー SKシリーズ」

注1:液晶ディスプレーの構成部品の一つであるガラス基板に均一にレジストを塗布して高精細TFTパターンを形成する装置。

注2:数値は初期モデルと最新モデルの性能当たりの比較(単位処理面積あたり生産性から算出)。

大型ガラス基板に対応した新たな塗布システムを開発

スリットノズル移動方式の「リニアコータ®」から、ガラス基板浮上移動方式の「レビコータ®」へ進化しました。浮上搬送塗布技術を駆使し、生産性の向上とランニングコストの削減に貢献します。

新方式の塗布システム「レビコータ®」

図:フ新方式の塗布システム「レビコータ®」

  • 約20%の生産性の向上
  • 薄膜プロセス実現により塗布に使用するレジストを最大20%削減
  • シームレスなガラス基板搬送で大型ロボットを1台分削減
    (省スペース・省電力)
  • パーティクルレス、ESDレス

主なグリーンプロダクツ一覧


ページの先頭に戻る